材料本身所（suǒ）具有的性能，必須通過正確的（de）熱處理手段來（lái）達到。隻有良好的熱處理手段，才能實現我們預想的性能期望。根據塑封模具材料性能要求，塑封模熱處理手段主要是（shì）高溫淬火、深（shēn）冷處理、高溫（wēn）回火，並多次反複，通過這些不同的（de）處理，達到最佳的模具性能。 
1、高溫淬火 
    為（wéi）了提高材料（liào）的剛性和耐磨損性，一般（bān）材料均需（xū）加熱到1030℃以上。高溫下，各種（zhǒng）合金（jīn）元素充分（fèn）溶解於奧氏體內，以便在淬火時獲得高的基體硬度，同時為了保證零件不發生脫碳氧化，相應采用了真空處理。目前半導體行業內使用的高速率氣淬淬火爐，可以在高真空條件下（xià）通過氮氣保護對工件進行（háng）加熱，既（jì）保證了工件（jiàn）的脫碳氧化，又防（fáng）止了合金元素的蒸發。同時采用200-500Kpa範圍內可調節（jiē）氣體壓力，對工件進行淬火冷卻，在保證工件充分（fèn）淬透的同（tóng）時又減（jiǎn）少了變形（xíng）。 
2、深冷（lěng）處理與高溫回火（huǒ） 
    高合（hé）金鋼在淬火後，由於其馬氏體轉變點（Ms點）均高於室溫，為了提高硬度，保證（zhèng）尺寸穩定性，通常要進行深冷處理和高溫回火，以保（bǎo）證殘餘奧氏體充分轉變（biàn）為穩定的回火馬（mǎ）氏體。我們將經過真空淬火後的工件，在室溫至100℃之間進行校（xiào）正，然後放（fàng）入-140℃的深冷處理箱中進行深冷。工件在不出爐的情況下，可（kě）以在-140℃至230℃之間進行冷熱循環，保證工件不會因為進出爐而產生變形或開裂。同時由於（yú）采用氮氣保護也（yě）避免了（le）工件在回火中的氧化開裂。目前對於D2類材料，我們通常在深冷設備中直（zhí）接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循環。對於高於（yú）230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們（men）采用了真空回火爐，在抽真空後，加入99.999%的高純氮氣作（zuò）為介質，通過吹風方向的改變來形成對流，保證了工件的溫（wēn）度均勻性，同時節省了回火時間。 
3、其它輔助手（shǒu）段 
    在提高了淬火回火及深冷處理質（zhì）量的同時，我們同時對工件的其它環節給予了充分的重視，過去認為的熱處理工件潔淨度與處理無關的觀點已經被拋棄，增（zēng）加潔淨預處理。即將未入爐零件，通過真空清洗機進行真空去油、脫脂、幹燥。去除了工件的各類加工油汙和（hé）碎（suì）屑，保證了入（rù）爐工件不會帶入（rù）其它雜質，避免了在高溫加熱時雜質分（fèn）解，汙染爐內環境和工件本身，從（cóng）微觀上保（bǎo）證了工件的組織潔淨（jìng）度和處理質量（liàng）的完美（měi）性（xìng），提高了工件的使用壽命（mìng）。

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